导师信息#中国科学技术大学电子科学与技术研究生导师介绍#张泽洪 ...

zhangzhang

张泽洪单位咨询QQ、微信：2544906。在该组攻读博士和博士后期间，主要从事SiC外延CVD设备的研制，工艺开发，位错分析及器件测试。在期刊和国际会议文集上发表第一作者论文十余篇，其中4篇发表在Appl.Phys.Lett.上。应用材料公司是全球最大的半导体设备和太阳能设备提供商。在应用材料任职期间，曽为多名关键客户，包括德国原AMD,新加坡特许半导体，IBM,台湾南亚，华亚，华邦，力晶、瑞晶，奇梦达，美光，台积电等提供大规模集成电路制造用设备和工艺技术。曾经负责过的设备产品包括MOCVD,CVD,PVD,ALD,PEALD,Preclean等。
研究方向 Researchdirection1、半导体材料与器件物理